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第522章 分辨率10μm（第3页）

　　试验人员早就把试验准备做好了，走进来之后，打开了几个开关，然后示意高振东：“高总，可以了。”

　　高振东拿起专用夹具，从带干燥剂的硅片架里，小心的夹起了一片单晶硅片，放到了工件台上，然后扳动开关，硅片被吸附固定。

　　这些单晶硅片已经经过清洗、干燥等处理，对光刻胶的附着力此时是最大的。

　　然后高振东退后一步，将接下来的试验交给了马娟。

　　高振东起身开门，门口是易中海和五道口分来的师妹马娟，马娟性格虽然比较直，有些男子的英气，但是心却是很细的，正合适代表分厂的电子实验室跟进一下光刻机的组装事宜。

　　“高师兄，好消息好消息！”马娟不像伍升远那么一板一眼，在单位也叫高师兄，高振东听得还挺爽。

　　此时的他，正在拿着防工委发过来的另一位五爷——轰炸机的资料，细细的计算着、考虑着。

　　瓷飞厂是下定了决心，肖总远赴京城，但高振东这边的事情，还远远没完。

　　可算是有结果了，这东西在高振东心里已经不是一台设备，而是一股气。

　　高振东前世，在网上对线多年，对手能喷的东西，从逮着啥就能喷啥，慢慢演变为能喷啥才说啥。

　　最后干脆成钉子户了，就在那少数几个领域蹲着不走了，任你东南西北风，我自巍然不动，嘴里只是说着“对呀对呀！……光刻机有几种光源，你知道么？”高振东看得愈不耐烦，拿着键盘走远。

　　走进光刻机试制车间，透过玻璃看向超净室，展现在高振东面前的是一个像是化学试验室里通风试验橱的东西，或者说是像搞生物的带生物防护的显微装置，别的都看不出干啥的，就是那台显微镜贼显眼。

　　这台显微镜是用来人工对准和检查用的，主要解决套刻时的对准问题。高振东在掩模上设计了对准标志，但是对准这个操作，在这台光刻机上是人工操作，那台显微镜就是用来干这些事情的。

　　易中海和马娟跟在后面，马娟笑道：“我们来的意思，就是想请你去主持一下最终的套刻精度试验。”

　　高振东连连点头：“嗯，要试，要试。走！走！”

　　按说这机器高振东来来去去，改来改去也见过不少次了，可以算是老伙计了，但是这次看见，还是心里泛起了一阵激动。

　　他想撬动的可不只是攻-5装雷达这个事情。

　　就在他算得入神的时候，门被敲响了。

　　“太好了，走，看看去。”高振东把手上的东西一收，站起身就往光刻机试制车间走。