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第523章 咱们工人有力量（第1页）

　　对于套刻精度高这一点，高振东是有所预计的，决定套刻精度的主要就是工件台，而三轧厂的一帮老师傅大发神威，将工件台的定位精度搞到了1。5μm。

　　而东北光学所的光学系统图形畸变只有1个μm不到，这两者结合起来，套刻精度绝对差不了。

　　显微镜里，两次光刻的痕迹非常明显，一条叠在另一条上面，重合度非常高。

　　这种办法，好就好在处理算法可以随时根据需要修改。

　　键盘声啪啪作响，现场人员的心情反而安定下来，从刚才他们测量中报的数来看，这个结果差不了。

　　2μm！

　　虽然早有所料，但是当这个数字跳出来的时候，高振东还是哈哈大笑了起来。

　　“哈哈哈……好！太好了！”

　　这个套刻精度，已经超出了当前所需，PMOS套刻次数少，其实不严格的说，10μm的分辨率下，5μm的套刻精度都是够用的。

　　现在，高振东可以直接宣布，我们的第一代PMOS工艺集成电路，线宽是10μm。

　　这个线宽听起来不咋样，但是举个例子就知道它的用处了，DJS-59的原型，那片金色的C8008，它的工艺就是10μm-PMOS！那一小片芯片上，晶体管数量是6000+。

　　而首个4Kbit（512Byte）的DRAM，工艺是8μm-NMOS，虽然是NMOS，但是并不意味着只有NMOS才能用于和NMOS的最大区别是开关方向相反，而且NMOS开关速度比PMOS要快2。5倍左右。

　　但是这是61年，PMOS慢点又不是不能用。

　　可惜那两片芯片出现的时候，高振东还没法锁定兑换的能力，但是这没有关系，还是那句话，行业初期，主打一个简单凑合能用就行，设计的核心难度不大。

　　DJS-59的晶体管的电路，其实基本上和C8008内是一模一样的，现在高振东要做的，就是把这个结构还原到光刻掩模上去。

　　不过这是个力气活儿，高振东一个人是搞不成的，太浪费时间了，这个事情，可就落在京城工大这一届的部分大四学生头上了。

　　原本高振东的考虑是光刻机不敢太乐观，初期预计是50μm左右，后来看到三轧厂的老师傅和东北光学所如此给力，才把SZ61XXX系列芯片头三片改为了20μm。

　　现在扎扎实实的10μm有望，那不得乐死，就算得先教半年学生，再画上个一年两年的图，那也是一个字儿——值！

　　而且有了这些基础，能搞的事情，可就多了，比如自动化人的最爱——单片机。

　　不过不论是CPU化的DJS-59也好，还是单片机也好，都还需要时间，至少得等两样东西。

　　——集成电路工艺的真正成熟、芯片的完整设计。

　　尤其是单片机，这东西看起来和通用CPU差不多，但是在当前的运算速度之下，最好使用另外一个结构——哈佛结构。

　　相对冯。诺依曼结构来说，这个结构的效率更高一些。

　　这些都是后话，现在的当务之急，是把光刻机投入到集成电路工艺中去，尽快让整条集成电路的工艺成熟，至少先生产出一定数量的基础数字逻辑芯片，让大家用起来。

　　别看这东西基本全手工，但是产量在这个年代来说并不低了，当然，和后世全自动光刻生产线没得比。

　　按照一片逻辑电路芯片使用5mm*5mm硅片面积来粗略计算的话，一片130mm晶圆能生产出500枚芯片来。

　　别看5*5这个面积很小，实际上在10μm工艺下，它几乎能生产类似74全系列的数字逻辑芯片了，大部分数字逻辑芯片最耗费硅片面积的部分，其实是它的线路引出的压接点。