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第337章 美滋滋的配套单位（第1页）

　　而且对方明确说了，分两步实施，第一步做出来就先提交第一步，第一步尽量快，第二步可以慢慢做，但是质量一定要稳。

　　还能分步提交成果，这就更舒服了。

　　把整个光路系统分成两步，正是高振东的主意。

　　要是所有的需求方都像这一家这样就好了，化学研究所的同志美滋滋的想，还能学东西！

　　其实这是高振东没办法，他不知道现在到底哪一种能搞成，总之65年这东西是有的，干脆把几种常见的光刻胶的路线都给写了上去，你做出来哪种算哪种，无非就是正胶负胶的区别，都能用。

　　如果只是刻一次，那倒不需要管套刻精度，只要保证光的投射范围都在晶圆上以及光投影精度即可，可是在集成电路工艺里，是要分很多次光刻，来形成不同结构，而且这些结构之间又有电路连接，所以套刻精度还是要保证的。

　　至于双工件台，就先扔一边了，一个工件台还没搞利索呢，想那么多是给自己找麻烦。

　　“高总，你这个东西的定位精度要半丝？”一群老八级工有点嘬牙。

　　1丝，从机加工的角度，等于10微米，半丝，5微米。

　　高振东点点头：“嗯，先不考虑移动定位精度，就考虑两个工件固定时定位的相对精度就可以。”

　　如果微缩投影还没搞通的话，那移动定位精度就意义不大，因为不需要在晶圆上一个芯片一个芯片的刻，而是一次性投影出整个晶圆的图像，这种情况下，哪怕套刻，主要考虑的也就是模版、晶圆固定时的相对位置精度了。

　　之所以一开始都是搞的接触式或者接近式光刻机，这就是原因，技术简单得多啊。

　　几位老师傅，包括易中海在内，放下了大半的心，这个就好办多了。

　　高振东把整个光刻机机械部分的要求发给他们，并给他们一一解释，光刻机可不只前面那么一点东西，比如光刻胶的涂覆、无尘环境的生成等等

　　其实早期的光刻机，看起来像个化学实验室的通风橱柜似的，而且还带显微镜，用于人工调整观察，又像一个生物上用的玩意，反正就是不像个工业上用的机器，完全没有后来看起来那么高大上。

　　听了高振东的要求，所有的老师傅觉得这还是有门儿的，问题不大，领了任务就去工作了，这些老师傅，有的是三分厂的，有的是从其他车间临时借来帮忙的，不管哪儿来的，反正这段时间都要在三分厂的研究场地里干活了。

　　至于其他部分工艺，都交给1274厂了，他们那边条件成熟，好歹还是专业半导体厂嘛。

　　与此同时，保卫处长正在和刘海中谈话，刘海中虽然也是老锻工了，可是离八级还有距离，也够不上掺合三分厂的特殊项目，至于生产，他不是三分厂的人就更说不上了。

　　保卫处长找他谈话，是有好事情找他，至少在他看来是这样。

　　“刘师傅，你是厂里的老同志，从你一贯表现来看，对于我们的保卫和安全工作，是非常上心、非常积极的”

　　保卫处张处长上来就先把刘海中猛夸了一通，听得刘海中是无比的舒坦，心思禁不住有些活泛起来。

　　老刘我，这是要时来运转了？领导终于看到我的努力了？愿意给我机会，给我加担子了？