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第523章 咱们工人有力量（第3页）

　　高振东满脸喜色，等大家稍微安静下来，他示意试验人员关机收尾，走进隔间脱下防护服。

　　从超净室中走出来后，高振东安排了一位同志去张罗吃饭的事情，规矩不能破，哪怕只能吃糠咽菜，也得聚一顿，更别说现在比吃糠咽菜可强多了。

　　然后他转身对马娟道：“马娟，你继续多做几组试验，看看稳定性怎么样。然后你和易师傅准备准备，这台设备接下来需要转场，你们整个组除了做好转场准备之外，还要做好准备，核心骨干要到相关的兄弟厂去支援一段时间。”

　　接下来的事情，自然就是将设备迁移到1274厂去，在那里，作为关键节点，直接融入到整套的集成电路工艺中。

　　在这个过程中，不论是制造、安装、调试、使用的课题组骨干成员，都得入驻1274厂，应对各种环境问题和突发状况，一直要到光刻机在1274厂的同志们手上用熟练了，才能撤回来。

　　两人点头应是，高振东看向各位同志：“那啥，虽然大家都知道了，但我还是正式宣布一下吧，哈哈，GK-61接近式10μm光刻机，成功了！同志们辛苦了！现在先享受一下成功的喜悦吧，中午老规矩，老规矩，大家懂的。”

　　随着最后一个数据输入完毕，马娟启动了编译-运行指令。

　　算法过于简单，没有带来任何调试上的麻烦，很快，屏幕上就跳出了一个数字。

　　编过临时程序的人都懂，怎么简单怎么来，这个数字甚至不带任何单位。

　　“1。97”。

　　其实小数点后一位就够了，那个没有写出来的单位，是μm。

　　“师兄，有了有了，能看出来，精度好高啊！”

　　马娟一边瞄着显微镜，一边嘴里喊着。

　　坚膜完成之后，硅片被再次从头开始，开始了第二次的光刻流程，用的还是那块标准掩模。

　　工件台又一次加热硅片，给工件做了一次坚膜，加固已经保留的光刻胶，进一步清除不需要的那部分胶以及其他成分的残留物。

　　时间的相对论在这里体现得淋漓尽致，马娟她们觉得时间过得很快，而等结果的高振东等人觉得时间过得太慢了。

　　又快又慢的一段时间过去后，试验人员在计算机面前坐下来，开始将数据输入计算机，这种简单统计分析，他们都是直接在源代码里敲数据。

　　处理算法的C代码早就写好了，现在他们就是在往一个数组里填数据而已。

　　两次光刻的痕迹，两边各露出来一小部分，这部分的单边宽度，基本上就是套刻误差了，粗粗看去，目测连整个线宽的一小半都不到。

　　“好！太好了！马娟，你们选取一些典型点位，要覆盖到整个硅片，马上做个比较全面的测量比较。”

　　听见马娟的话，高振东哈哈大笑：“来来来，我看看。”

　　马娟从显微镜下让开，高振东把眼睛凑到显微镜的目镜外，显微镜里甚至能看到他自己的眼睫毛，但他现在明显没有闲心观察自己的睫毛是否好看，急着往视场里看去。

　　另外一个试验人员走了上来，和马娟一起，一边找点，一边测量，一边记录。

　　显影完成后，二次光刻的光刻胶被固化，多余部分被清除，硅片被送到了显微镜下。

　　刚刚把硅片表面的清晰显微图像跳出来，马娟就语带欣喜的啊了一声。

　　不过估计归估计，在没看到真正结果那一天，谁都不敢彻底把心放下来。